SONOTEC® entwickelt berührungslose Clamp-On Durchflusssensoren zur Anwendung in hochreinen Prozessen der Halbleiterindustrie

In der Halbleiterindustrie spielen Liquid-Flow-Prozesse, in denen eine Vielzahl verschiedener abrasiver, anhaftender und korrosiver Flüssigkeiten zum Einsatz kommen, eine bedeutende Rolle. Deren permanentes Monitoring sichert im Sinne eines kontinuierlichen Qualitätsmanagements die Prozessstabilität und Verfahrenssicherheit. Die berührungslos messenden SEMIFLOW Flow Meter sind auf Grundlage der spezifischen Bedürfnisse der Halbleiterindustrie entwickelt und gestaltet worden. Die Sensoren stehen interessierten Kunden jetzt weltweit über das SONOTEC® Vertriebsnetzwerk zur Verfügung.

Mit der Entwicklung des hochmodernen und robusten Industriesensors SEMIFLOW mit innovativer Clamp-on Technologie zur Vermeidung von Verunreinigungen und Leckagen, steht SONOTEC® jetzt weltweit in den Startlöchern für den Vertrieb. Mit dem Sensorkonzept zur berührungslosen Messung von Durchflussraten und Volumenströmen am Kunststoffschlauch bzw. -rohr gehören unerwünschte Systemausfallzeiten der Vergangenheit an. Der kompakte Sensoraufbau mit integrierter Elektronik ermöglicht die einfache Prozessintegration – auch in Form einer Nachrüstung in bestehende Prozessarchitekturen. Die SEMIFLOW Sensoren sind in verschiedenen Sensor- und Kanalgrößen für eine breite Palette von Schlauch- und Rohrgrößen erhältlich. Sie eignen sich perfekt für PFA-, PTFE- und andere Hartkunststoffrohre und -leitungen.

Praxiserprobte Technologie zur Anwendung in komplexen Prozessen der Halbleiterindustrie


Die Durchflussmessung von Flüssigkeiten spielt bei der Waferherstellung eine wichtige Rolle. In den applizierten Nassverfahren werden verschiedenste abrasive, anhaftende und korrosive Flüssigkeiten eingesetzt. Bei der nasschemischen Wafer-Reinigung im Single-Wafer- oder Batch-Reinigungsverfahren ist es beispielsweise entscheidend, den Durchfluss der Reinigungslösung zu überwachen. Im Falle einer Unter- bzw. Überdosierung sind zusätzliche Ressourcen erforderlich, da der Reinigungsprozess wiederholt werden muss. Im schlimmsten Fall werden die Wafer defekt oder unbrauchbar und es entsteht ein enormer Wertverlust. Eine präzise Durchflussmessung ist daher entscheidend für die effiziente Nutzung der Produktionsressourcen. Neben der Integration in Wafer-Reinigungsanlagen werden SEMIFLOW-Durchflussmesser auch erfolgreich in Lithographie- und Mischanlagen, Chemikalienversorgungssystemen und Slurry-Lines eingesetzt.

SONOTEC® mit jahrzehntelanger Erfahrung und Expertise auf dem Gebiet der ultraschallbasierten berührungslosen Durchflussmesstechnik

Die Entwicklung der SEMIFLOW Produktreihe profitiert von der jahrzehntelangen Erfahrung und Expertise in der Konstruktion berührungsloser Ultraschall Durchflusssensoren vor allem im Bereich hochempfindlicher Prozesse der Biopharmazie und der Medizintechnik, in der sehr strenge Vorschriften in Bezug auf sicherheitsrelevante Komponenten gelten. So konnten bestimmte Leistungsmerkmale der Sensoren, wie z.B. die hochpräzise Echtzeit-Durchflussmessungen von bis zu 400 l/min, die Implementierung eines Volumenzählers, eine breite Palette von industriellen Standardschnittstellen und das Know-how im Umgang mit einer Vielzahl von Schlaucheigenschaften und -geometrien in die SEMIFLOW-Sensorpalette übernommen werden.

Anwendung physikalischer Prinzipien bei der ultraschallbasierten Durchflussmessung mit SEMIFLOW Flow Metern

Im Fall der SEMIFLOW Sensoren werden die Schallwellen schräg durch die Flüssigkeit gesendet. Zur Verbesserung des Messeffektes werden zwei Messstrecken verwendet. Vier Ultraschallwandler sind in einem X-Muster angeordnet. Die Sender emittieren pulsierende Ultraschallwellen in einer vorgegebenen Frequenz von einer Seite zur anderen. Die Laufzeitdifferenz ist entsprechend direkt proportional zur mittleren Strömungsgeschwindigkeit. Das Volumen ergibt sich wiederum aus dem Produkt der mittleren Strömungsgeschwindigkeit und der Querschnittsfläche des Schlauches.

Die Verwendung des Laufzeitdifferenzverfahrens verursacht weder einen Druckabfall im Schlauch noch besteht die Gefahr von Leckagen. Bei entsprechender Kalibrierung kann die Bestimmung der Durchflussrate weitgehend unabhängig von Viskosität, Dichte, Farbe sowie elektromagnetischer Eigenschaften der Flüssigkeit und der Farbe des Schlauches durchgeführt werden.

Über die SONOTEC GmbH

Gegründet 1991 ist die SONOTEC GmbH heute ein weltweit führender Produkt- und Lösungsspezialist für Präzisionsmesstechnik. Mit über 170 Mitarbeitern entwickelt und fertigt das Technologieunternehmen am mitteldeutschen Standort Halle (Saale) in den drei Geschäftsbereichen – Vorbeugende Instandhaltung, Zerstörungsfreie Prüfung und Nicht-invasive Flüssigkeitsüberwachung – innovative Ultraschallmesstechnik. Zum weltweit vertriebenen Portfolio zählen kundenspezifische Ultraschallwandler und -sensoren sowie Prüfgeräte und Messtechniklösungen für eine Vielzahl verschiedener Branchen und Industrien.

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